Pull to refresh

Comments 114

Кстати, не пробовали совместить это удовольствие с каким-нибудь печатающим станком? Краску наносить там, например?
как вы планируете наносить фоторезист на поверхность? А примеси?
Как на производстве — капаем резистом в центр вращающейся пластины, резист растекается ровным слоем. Регулируя обороты — можно в небольших пределах управлять толщиной получающегося слоя.
Насчет примесей — что вы имеете ввиду?
Насколько я знаю, все полупроводники работают за счёт легирования отдельных областей. Как вы собираетесь определять, где у нас 'p', а где 'n' часть? В смысле, как вы собираетесь так точно помещать легирующие присадки?
Берется пластина, вся легированная например в тип p, выращивается везде толстый слой SiO2 (1000нм), наносим фоторезист, засвечиваем через маску места для легирования, проявляем, вытравливаем «окна» в толстом окисле, легируем все в n тип (и примесь попадет только туда, где протравлены «окна», через SiO2 примеси проходят плохо). Слой окисла вытравливаем.

Готово :-)
Выращивается? Технология есть? (в наличии в кухонных условиях, я имею в виду).
Да, 900 градусов, влажный воздух или кислород. 30 минут — 2 часа.
Для печки на нихроме это нормальная температура для работы.
Еще лучше — влажный кислород. Можно просто кислород через воду пропускать перед подачей в печь.
Мокрый метод вроде как дает на выходе рыхлый аморфный слой. Для ваших целей он пойдет? Может быть имеет смысл подумать о сухом методе оксидиррования?

По поводу легирования. Как делать планируете? Эпитаксия, ионная имплантация или другие варианты?
Как «маска» для легирования рыхлый SiO2 подходит.
Подзатворный диэлектрик конечно нужно в сухом кислороде растить.

Легирование диффузионное, парами BBr3 и POCl3.
А, тогда понятно. Спасибо.
Намного проще анодированием
Есть ссылки по теме? Не уверен чтоб это будет работать, когда уже есть pn переходы…
А не лучше сделать окна в более тонком слое металла, и легировать через металлическую маску? и с HF связываться не надо.
Я сам легированием не занимался, но если так будет работать — так должно быть проще.
Проблема в том, что немногие металлы 1000 градусов переживают не растворяясь в кремнии, не соединяясь с кремнием и не расплавляясь, особенно учитывая что температура такой будет десятки минут.
Интересно было бы по слушать про микроконтроллер общего назначения, как понимаю выпускать планируете у нас? на какой архитектуре делаете?)
Я думаю я напишу про это статью через несколько дней. Т.к. проект коммерческий — физически выпускаться будет там, где это экономически оправданно. Понятно, что было бы хорошо производить в России — главное о конкурентных ценах договорится. Но пока рано об этом, путь очень длинный.
UFO just landed and posted this here
У военных ловить нечего, объемы мелкие, бюрократии много.

Микроконтроллеры не делают по 22нм, их делают по относительно старым 90-180нм и выше.
Atmel вон по 350нм делает и ничего страшного.
Тут есть несколько причин этого — стоимость масок, напряжения питания, размер чипа до резки (по 20нм от тупо будет меньше, чем расходы на резку пластины).

Проблема этого плана — в том, что серийное производство жутко дешевое, как это ни странно. Любым наколенным оборудованием миллион микросхем дешевле не сделать, чем на серийном производстве. 5-10 микросхем — да, можно сделать дешевле, но не миллион.

Делать законченную электронику и микросхемы — разные задачи. Во Франции электронику тоже не особо делают, но STM живет и в ус не дует.
UFO just landed and posted this here
Тот Арм что STM собирается по 22нм делать — это не микроконтроллер, а система на кристалле — для смартфонов и проч.

Языковые барьеры это миф, все знаю и говорят по английски. Собственно, я с зарубежными фабриками уже свободно общался по вопросу производства.
>т.к хотел сделать третичный процессор

Неожиданно мне то же пришла в голову мысль его сделать. Хотя бы в виде документации и эмуляторе.
Правда я ваш пост видно как то проморгал. В 2012 году и набрл только в 2013 :)
В связи с тем, что сам интересуюсь подобными вещами (учусь на кафедре микроэлектроники КПИ) у меня возникли некоторые вопросы:

1) Зачем?
Да, я понимаю. Может just for fun, может и для коммерции или обучения. Но все-таки.

2) Вы и вправду думаете в кустарных условиях получить нужную точность и чистоту?
Не знаю как у вас там в Москве (судя по информации в профиле) но даже у меня в Киеве есть возможность оплатить реактивы и наростить нужные IC на нормальных установках в стенах родного КПИ и разных НИИ. Тем более даже я наслышан про Зеленоград.

3) А не страшно дома хранить все это?
Правила техники безопасности написаны кровью. Я сомневаюсь, что просто так можно обеспечить нормальные условия хранения и эксплуатации всего того, что необходимо при производстве ІС. Даже при соблюдении всех мер безопасности (как казалось) я получал ожоги кислотой, вдыхал разные неприятные газы и немного повредил сетчатку.

4) Финальный вопрос. Может более целесообразно для just for fun и тренировки делать все это в специально оборудованных для этого местах а потом уже в случае коммерческого проэкта закупать нужное оборудование?
1) В конце статьи написано, все задают этот вопрос :-)

2) Да, именно так и думаю. Вы видели транзисторы на аморфном кремнии?
Если они работают — то что угодно заработает.

3) Как я писал, бытовая химия местами намного опаснее. Плавиковая кислота например — есть в средствах для прочистки труб. Хлор — более ядовит, чем BBr3/POCL3. От излишков плавиковой кислоты я избавился. Баллонов с кислородом не будет. Так что все это не опаснее того, что можно найти в обычной кладовке.

4. Коммерческого проекта из этого не будет, коммерческий проект будет на серийных заводах по обычным технологиям.
А куда вы кислоту дели?
подарил продавцу химией с самовывозом
По пункту 3 — на производстве вещи намного опаснее есть, чем то что я использую. Именно из-за их опасности я их и не использую. Это моносилан, сжатые газы (водород, кислород), газы для ионного травления и легирования, газовые смеси для эксимерных лазеров…
Правила техники безопасности написаны кровью.
Читаю эту фразу на Хабре уже, кажется, третий раз за пару недель, так что отвечу чуть шире, чем по конкретному случаю.
Правила техники безопасности написаны мозгами, на самом деле. Это разумные, понятные, доступные требования. Кровь случается тогда, когда люди делают ошибки, их нарушающие. Опасные прецеденты, конечно, могут иногда служить основанием для совершенствования правил, но изначально правила пишутся на основании понимания принципов.

Если взять руководство по ТБ или каталог средств индивидуальной защиты, там не найдется ничего сверхъестественного. Единственное — цена привычных маленьких ошибок и допущений при работе с опасными материалами становится «заметнее», чем в быту, когда кипятком из чайника достаточно просто не попасть на руки.

Если просто не подходить к правилам формально, а разбираться, почему именно они такие, ничего не должно случиться. А дальше — просто вопрос спокойствия, аккуратности, внимания и предусмотрительности. Проблемы случаются не случайно, а именно тогда, когда по каким-то причинам чего-то из этого мало.

Так что кровью пишутся не правила ТБ, а история их нарушения.
Проделанная вам работа внушает уважение, но невольно в памяти всплывает картинка-комикс, про буханку хлеба и троллейбус.
… а из куска гофра и свистка можно сделать баян… просто для веселья.
Я рассчитываю на 2013 год, но всякое конечно может случиться.
Монстр — ничего не скажешь, Кулибин современного разлива) Все химреагенты вы заказывали почтой? Проблем с доставкой не было?
Москва — удивительный город. Я нашел магазин рядом с домом, где есть почти все :-)
Кое-что покупал на барахолке химиков.

С доставкой опасной химии проблемы есть — её транспортными компаниями привозят, и это конечно дороже чем почта.
Рядом с Москвой тоже есть удивительные места — один товарищ для дезинфекции квартиры покупал себе 30% раствор перекиси водорода (брал несколько литров), приехал на склад где-то в районе Люберец на легковой машине, хэтчбек. Желая не ездить лишний раз, купил еще несколько емкостей изопропилового спирта. Сотрудники склада покрутили пальцем у виска, до машины нести купленное отказались, но с интересом издалека наблюдали за погрузкой.
Намекаете на взрыв при смешивании?

У меня самый эпический фейл был когда я горячую серную кислоту с перекисью смешивал… :-)
Хорошо хоть противогаз всегда под рукой и работал в очках :-D
классика — перекись с ацетоном. правда, выжить сложно
Ну, был бы седан — хоть спирт в багажник можно было сложить, а перекись — в салон. Но тут достаточно было неловко подскочить на яме. 30% — это существенная концентрация, получается, практически, ракетное топливо.

К слову — комбинации типа «кипящее+едкое» — крайне сложная штука для подбора СИЗ. Например, перчатки, которые и держат кислоту, и не плавятся — редкость. Нужно комбинировать.
Топикстартер, конечно, крут.
Не знаю получится у него задуманное или нет, но сама затея весьма похвальна.
Пусть даже это из серии «зачем изобретать велосипед», но тем не менее из таких экспериментов может вполне родиться действительно что-то новое и полезное. И не обязательно это будут микросхемы, просто освоив технологию, можно таким же образом придумать техпроцесс для чего-то другого.

Вообщем, продолжай начатое!
Ни пуха и ни пера!
Ответ на вопросы 1-3 из раздела «Остающиеся проблемы и что я ищу»:
Все это вам не нужно. На первых парах вам потребуется только TCAD для моделирования полупроводниковых устройств.
Но не думаю что до этого дойдет. Если получиться сделать пару работающих транзисторов, это уже будет победа. Хотелось бы услышать как вы будете делать литографические маски и какое оборудование будете использовать.

С таким хобби вам нужно устроиться работать на полупроводниковую фабрику, думаю это и с логистикой должно помочь и будет где поэкспериментировать ;)
Маски — на обычном принтере, далее фотолитография с большим масштабированием.

Вопрос логистики в любом случае уже практически закрыт.
А вот с экспериментами — на заводе не проще, это же не развлекательный центр/НИИ, там никакой самодеятельности (по крайней мере на современных техпроцессах).
UFO just landed and posted this here
как-то мне это все напомнило вот этих ребят…

image

тоже дома микросхемы делают :)
Breaking Bad… есть на лосте
UFO just landed and posted this here
Вместо генератора азота не получится покупать жидкий азот и аккуратно испарять? Будет дешевле, чем брать азот в баллонах, и вероятно, чище.
в баллонах газы тоже в жидкой форме
Только углеводороды и CO2. Азот, водород, кислород и инертные газы просто в сжатом состоянии.
Сосуд Дьюара + жидкий азот на мой геморнее — хуже чем банальный азот в баллоне.

Его испарение не остановить, и на один эксперимент этого может и хватит, но тут работы на многие дни и недели.
То что продаётся под названием «жидкий азот» — скорее «жидкий воздух». Чистота азота не так высока.
Интересно было бы послушать с какими проблемами столкнулся автор при покупке хим. реактивов.
Насколько мне известно продажа серной и соляной кислоты физ. лицам запрещена, поскольку эти кислоты могут использоваться в процессе приготовления наркотических веществ. По крайней мене так было пару лет назад.
ГНК безусловно интересуется, требуется заполнение определенных документов для покупки.
Да, в России поработать можно спокойно и с интересом… А в Беларуси «домашняя» химия фактически под запретом уже несколько лет, неважно чем занимаешься -государство считает что дома можно варить только нарк/бомб. :(
В восхищении от вашего безумия.
O_o. Вы выводите принцип «Только хардкор!» на принципиально новый уровень :)
Расскажите в каких магазинах покупали такие адские реактивы как плавиковая кислота?
И как ее доставляли, так как ни одна транспортная компания, наверное, не возьмется.
«В связи с пожаром мы не работаем.»
Чудесно смотрится…
Хотелось бы узнать цену вопроса на сегодняшний день. Сколько Вы уже потратили?
И да. Есть у меня одно предположение, но не уверен что оно прокатит в силу свое «секретности». Попробуйте завести дружбу с ребятами, которые работают на старых советских заводах, выпускавших микросхемы. Например в городе где я учусь (Беларусь, Брест) есть завод «Цветотрон» и туда отправляют по распределению студентов. Возможно они смогут помочь в поисках описания техпроцессов. Как мне кажется — это уже не секретная информация.
UFO just landed and posted this here
Тип того. Это именно про этот Цветотрон и поется.
Потратил около 60 тыс пока, не все покупается по коммерческим ценам — так было бы больше.

На заводах у студентов нет доступа к техпроцессам, они там контейнеры обычно носят и все.
Я понимаю, просто этот завод уже полуразвален и микросхемы там давно уже не выпускают. Вполне возможно что тех процессы уходят в макулатуру.
Фотка с кислотами — выглядит как моя мечта в детстве. Еще немного бытовой химии и целлюлозы и хошь нитроглицерин, хошь пироксилин…
Вот, к наркотикам еще и взрывчатые вещества добавляются…
И оторванные руки лежат на лужайке… В некоторых описаниях синтеза нитроглицерина специально пропущены важные шаги

На эту тему есть замечательное видео, можно сразу в конец перематывать:

Дык надо же понимать процесс, а не тупо следовать инструкции из интернета. Там много таких, даже не связанных с ВВ. Думаю в интернете есть и инструкции по разливу плавиковой кислоты с пропущенными шагами)
ой, блин. в рамочку и на стену
Ну, судя по Вашей дате рождения, в Ваше детство доставалось всё гораздо проще (по крайней мере мой отец(хотя он 59ого) доставал всё без проблем в соседнем магазине). Вот в середине 90х почти не реально было ничего достать (требовали документы какие-то). На пару смесей я находил реактивы, но ни пироксилина ни йодистого азота (в нормальных количествах) сделать не получалось.
Я химией «переболел» до 88 года, это как раз эпоха романтического дефицита. Реактивы надо было «ловить». Плюс просить взрослого на улице купить дымящуюся серную кислоту — это не тоже самое, что купить сигареты;)

А мама когда показала список реактивов которые я попросил купить знакомому химику… как-то отказывлась поощрять моё увлечение химией. Тем более, когда узнала, что может сделать семикласник с обычной (на тот момент) амиачной селитрой)
А разве в чёрном порохе не калийная?
О_о… у человека дома целый склад ядо-химикатов вижу
BarsMonster, думаю тебе нужно менять работу :-)
Не стучался в двери Intel например?
Да, думаю, что это будет проще и безопаснее для всех.
Костя, работу я уже поменял :-)
И никакой Intel мне не нужен :-)
Еще интересует вопрос: С таким забавным арсеналом хим. веществ — к Вам не приходили товарищи из соответсвующих органов и не спрашивали зачем оно Вам нужно?
Пора это в статью добавить. Эти вопросы задают в момент покупки, а не потом.
В документах указывается сколько куда и зачем, + паспортные данные.
Т.е. если, не дай бог, что-то случится, то к Вам они тоже заглянут и спросят за каждый грамм? Я правильно понимаю? Хотя… У Вас не такие и большие объемы для вв (кроме плавиковой кислоты конечно)).
Физические лица журнал учета вести не обязаны, так что спросить то спросят, но бумажной отчетности не потребуют.

Плавиковая кислота их слабо волнует, и у меня её тоже мало, я же излишки подарил.
Полез посмотреть что же за адская плавиковая кислота, и судя по видео то ли пермские научные работники такие суровые… то ли плавиковая кислота не такая уж ядреная как ТС описал.

Угу, смертники :-)
Один еще ничего, в суровых резиновых перчатках работает…
Плавиковая не синильная. Что в ней такого опасного?
Достаточно обмакнуть 2% поверхности кожи в кислоту и сразу смыть. Болеть не будет, как будто все отлично. А через 2 дня — остановка сердца и никакого антидота нет :-)
2% поверхности кожи это так то дофига. Очень дофига. Это целиком кисть руки или даже более.

Хм, любопытная жижа. Врагам в ботинки накапывать.
Нас учили, что одной капли на руку достаточно для минимум инвалидства.

Поэтому и перчатки каждый раз перед работой с кислотой проходят «pinhole test».
Да не особо она страшная. Мы работаем с ней под вытяжкой в перчатках и респираторе, ну и в очках. То есть как и с другими кислотами.
При инструктаже особо указывали, что главное — не вдыхать.
Мне понравилась во второй части:

Мужик достает камень пинцетом голыми руками из бутылки…
Я думаю — ну, сейчас камень сорвется и его обрызгает…

Камень срывается, вокруг летят брызги кислоты…
Мужик спокойно: «Так, и похоже кислота попала мне на руку»
+1, а седой дедок, тряпкой! вытирает верстак где стояла емкость;)
Слабая у него кислота какая-то, даже не дымит.
А можно конкретнее про напыление металлов?
В низком вакууме, с инертным газом — подаем переменное напряжение 20кВ к металлической пластине (если напыляем алюминий — то к алюминиевой), и небольшое постоянное напряжение — к электроду за нашей мишенью, на которую металл наносится.

Газ ионизируется, молекулы колбасит в переменном токе — они выбивают металл из пластины и он осаждается где попало.
Насколько я понял, вы имеете ввиду ионно-плазменное распыление.
ИМХО, при вашем энтузиазме целесообразнее сделать магнетрон. У него скорость напыления значительно выше и пленка чище.

Какой вакуум ваш насос обеспечивает?
0.3 Па. Но я не вполне склонен доверять китайцам :-)

У меня просто источник высокого напряжения уже есть, а вот с магнетроном возится нужно с 0.
Плазма при таком вакууме у вас зажжется без проблем. Но вот от загрязнений газами Вы, скорее всего, избавиться не сможете. Желательно предварительно откачиваться хотя бы до 10e-3 Па.
Еще вопрос по контролю давления — нужен регулятор расхода газа, ну или натекатель.
Да, если там будут остатки воздуха — то ничего не выйдет.

Понятно что там должен быть аргон,
ну и остатки кислорода можно выжигать на геттере.
Можно с азотной ловушкой помудрить. Но нужен жидкий азот.

Кстати, тут подумалось, что дифузионный насос вполне реально в гараже собрать :)
Насос не большая проблема, форвакумный главное есть — а мелкий турбомолекулярный (особенно б/у) уже не так много стоит, если очень хочется.

Диффузионный насос насколько я понимаю загаживает все углеводородами.
че-то мне сдается, что турбомолекулярный стоит очень даже неплохо.
по поводу загаживает. впринципе — да, но для ваших целей абсолютно несущественно. даже самодельный сможет дать 10e-2 или-3 Па, если, конечно, форвакуумный по производительности потянет. опять же — можно ловушку поставить.
Про источник интересно. Купили? Собрали из старого хлама (строчник с умножителем от телевизора, например, как-раз дает 20кВ)? Сами мотали трансформатор?
У меня-ж станок на CO2 лазере есть, и запасной блок питания к нему — с регулировкой и индикацией тока. Его и собираюсь использовать.
А какой ток он выдает на выходе?
Кстати, термическое распыление на самом деле намного проще, чем у вас написано. Правда, вакуум нужен посерьезней
Так а греть чем, и чем контролировать температуру?
постоянным током. ничем не контролировать. опытным путем подобрать ток и все.
Да, все же есть потенциал восстановить цивилизацию после катастрофы. Единственно — рискуете оказаться на костре раньше времени ;-)
>>когда у ног задорно шипит бетон
Вот думаю куда бы пристроить эту фразу.
Sign up to leave a comment.

Articles